1μm Металлические фильтрующие среды для очистки газовых процессов полупроводников --- Изготовление пластин с управлением AMC

Тип продукции: Ультратонкие короткие волокна из нержавеющей стали 316L

Диаметр волокна: 1um/1.5um/2um

Длина резки: 80-100 мм

Химический состав сырья ((Wt%))

В полупроводниковом производстве, поддержание сверхвысокой чистоты процесса газов имеет решающее значение для предотвращения дефектов и обеспечения высокой урожайности.Металлические фильтрующие среды играют важную роль в очистке газа, удаляя загрязняющие частицы и одновременно способствуя контролю молекулярного загрязнения воздуха.который необходим для передового изготовления пластинок.

Ключевые особенности и преимущества

Высокоэффективная фильтрация (1 мкм удержания)

Захватывает субмикронные частицы, которые могут вызывать дефекты в процессах фотолитографии, гравировки и осаждения.

Уменьшает риск загрязнения поверхности пластины, улучшая урожайность.

Химически инертный и устойчивый к коррозии

Изготовлены из высокочистойиз нержавеющей стали (316L), никеля или синтерированных сплавовдля совместимости с агрессивными газами (например, HF, HCl, NH3).

Противостоит выбросу газов, предотвращая дополнительное загрязнение.

Способность управления AMC

Некоторые передовые металлические фильтры включаютповерхностные обработки или покрытия(например, пассивация, электрополировка) для минимизации адсорбции/десорбции летучих органических веществ или кислот.

Помогает встретитьсяSEMI F21 AMC класс 1Требования для чувствительных процессов, таких как литография EUV.

Устойчивость к высокой температуре и давлению

Устойчивая производительность в суровых условиях (до 500 °C или выше для некоторых сплавов).

Подходит дляКВД, диффузия и имплантация ионовГазовые трубы.

Долгий срок службы и очищаемость

Повторное использование после очистки (ультразвуковые, химические или термические методы), снижение стоимости владения.

Дизайн низкого давления для энергоэффективного потока газа.

Приложения в производстве полупроводников

Доставка газа сверхвысокой чистоты (UHP)(N2, Ar, H2, O2, и т.д.)

Процессы гравирования и осаждения(CVD, PVD, ALD)

Фотолитография(окружающая среда с чувствительными к AMC EUV/DUV)

Насыщенный газ и фильтрация в пункте использования (PoU)

Почему металлические фильтры лучше, чем альтернативы?

Высокая долговечностьпротив полимерных фильтров (которые могут разлагаться и выделять частицы).

Никакого выпадения волоконв отличие от традиционных фильтров HEPA/ULPA.

Лучшее смягчение AMCпо сравнению со стандартными фильтрами твердых частиц.

Соответствие и стандарты

SEMI F20(Управление твердыми частицами)

SEMI F21(Классификация AMC)

ISO 14644-1(Стандарты чистых помещений)

Заключение

1 мкм металлические фильтрующие средыявляется надежным раствором для очистки полупроводниковых газов, сочетающимфильтрация частиц, контроль AMC и химическая устойчивостьчтобы удовлетворить строгие требования передового изготовления пластинок.